王世杰侧身让开，露出设备旁的参数面板，上面跳动的“套刻精度±0.003微米”“良率72%”等数据格外醒目。
“我们通过自研的激光校准算法，将套刻精度压到±0.003微米，比行业标准提高近一半；
光刻胶是直接从国外进口的，我们自己的实验室刚起步，需要一段时间才能拿出成品；良率目前稳定在72%，后续优化后还能再提5到8个百分点。”
沈院士俯身盯着面板上的数据流，手指无意识地跟着数据跳动的节奏轻叩桌面。
当看到“晶圆传送臂定位误差小于0.002微米”的标注时，他猛地抬头，眼中满是震撼：“你们连机械臂的动态补偿都搞定了？这可是多重曝光的核心难点，国外厂商花了三年才突破这个瓶颈！”
“是楚总提供的技术框架，恒川机械来人调试的。”王世杰语气带着几分自豪，“现在传送臂每完成一次曝光定位，系统都会自动校准机械误差，比人工调试精准多了。”
沈院士顺着王世杰的指引看向设备后方，那里堆放着几叠厚厚的测试报告，封面上“45nm存储芯片电学性能测试”的标题格外刺眼。
他随手抽出一份，快速翻到核心参数页。“数据存取速度120mb\/s”、“静态功耗5微安”、“循环寿命10万次”，每一项指标都追上了国际主流45nm存储芯片水准。
“这……这简直是跨越式突破！”沈院士合上报告，声音因激动而微微发颤，“有了这套技术，咱们国内的45nm芯片生产就不用再看ASmL的脸色了！
对了，你们后续打算怎么推进？是先扩产还是继续优化工艺？”
王世杰轻轻摇头，“以我们目前的状况，很难在海外买到第二台65纳米光刻机，扩展是不可能了。
至于优化工艺，意义也不大，65纳米光刻机生产45纳米芯片已经是极限，不可能再生产更先进的制程了。
按照楚总的规划，我们下个月会拆解这台65纳米光刻机，研究其内部结构！”
”拆解？”沈院士握着报告的手猛地一紧，纸张边缘被捏出明显褶皱。“这台设备刚完成调试，正是验证工艺、积累数据的关键时期，现在拆解是不是太冒险了？”
在他看来，65nm光刻机是国内稀缺的先进设备，哪怕暂时无法扩产，也该优先用于芯片生产，为国内产业链提供45nm制程支持，而非急于拆解研究。
毕竟拆解过程中一旦出现硬件损伤，想要在国内修复难如登天。
真到那个时候，别说45纳米芯片了，恐怕连65纳米芯片都无法生产。
王世杰却是不以为意，“王院士，以我们公司目前的状况，即便能生产45纳米芯片，也不会有多少订单。
即便有订单，我们也无法采购那么多生产原材料。也正因如此，楚总才让我们在验证完技术后，开始拆解65纳米光刻机，了解内部结构，为零部件国产化做准备！”
深蓝半导体即便获得生产45纳米制程芯片的能力，那些芯片设计公司也不会轻易抛弃合作伙伴，将订单给他们。
更何况，深蓝半导体与因特尔，台机电等公司有矛盾，仅凭这一点，就足以让芯片设计公司拒绝与深蓝半导体的合作。
当然，真正让王世杰对拆解65纳米光刻机一点反对意见都没有的原因，是女娲系统在这个过程中起到的关键因素。
女娲系统在各种扫描设备的配合下，光刻机拆解过程几乎不会有任何意外。这一点，已经在拆解250纳米光刻机时验证过。
沈院士叹了一口气，王世杰的话如同一盆冷水，浇灭了他对“短期产能突破”的期待。
前段时间，深蓝半导体被国内外供应商卡原材料的事情，在网络上闹得沸沸扬扬，他自然也有所耳闻。
国内的那些原材料，他还可以私底下牵线搭桥，但涉及到国外供应商，他也没有什么办法。
“这些材料，确实是绕不开的坎。”沈院士叹了口气，目光重新落回65nm光刻机上，语气带着几分怅然。
“可这台设备毕竟是国内目前最先进制程设备之一，拆解过程中要是出了差错，想要再找到替代设备，难如登天。”
王世杰看出沈院士的担忧，轻声安慰道：“沈院士放心，拆解前我们会完整记录设备结构，每一个零部件的安装位置、接线方式都会存档。
而且张北光团队已经拆解过250nm光刻机，有成熟的流程，不会出纰漏。”
他顿了顿，补充道：“拆解过程还会全程录像，同步上传到行星二号超算备份。哪怕某个部件出现损坏，也能根据扫描数据逆向复刻，不会影响后续复原光刻机。”
沈院士仍有顾虑：“逆向复刻谈何容易？像光学镜头、伺服电机这些核心部件，国内厂商的工艺还达不到原机水准，一旦损坏，恐怕还是要依赖进口。你们复刻过250纳米光刻机，应该更明白其中的难度！”
在他看来，以龙国目前的工业体系，很难复刻高端光刻机的核心部件。
王世杰却是语气坚定，“只有摸清每个部件的设计原理，才能推动国内供应商突破技术壁垒。
我们去年拆解的250纳米光刻机，已经完全吃透内部构造。按照计划，我们用国产部件复刻的250纳米光刻机，再有两个月就可以下线了。”
沈院士握着报告的手微微一松，眼中的担忧被难以置信取代：“两个月？用国产部件复刻250纳米光刻机？”
他深耕半导体领域数十年，太清楚高端设备国产化的难度。
250纳米光刻机虽非顶尖制程，但核心部件如精密导轨、伺服电机、光学镜头，长期依赖国外进口，国内厂商连逆向测绘都困难，更别提复刻组装。
去年王世杰通过他联系了很多厂商，当时他还以为双方应该是共同研究光刻机的某一种结构。
现在看来，当时就是复刻250纳米光刻机的某一种核心部件。
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